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The Extreme Engineering of ASML’s EUV Light Source

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延伸阅读 2

一次成功演示能支持多大的结论？ →程序给出了期待的输出。从「它做到了」到「它一定能做到」，中间隔着测试分布、形式假设和真正的使用场景。这些界限在部署压力出现时尤其容易被忽略。本片参与的问题 · 样品成功的那一步，能在整层材料上重复吗？同一台机器，换个地方量，为什么结论变了？ →在第一轮排水时打开洗碗机，再把面包从烤面包机中拿走。两个小实验迫使我们说清楚测量从哪里开始、到哪里结束，以及仪器究竟感知了什么。本片参与的问题 · 要在晶圆上印一个 L，掩模该画什么？

字幕解读

EUV 光源要让微小锡滴连续撞上两次激光脉冲。第一枪给液滴塑形，第二枪制造能发出目标波长的等离子体。讲解把效率问题缩到靶子的尺寸、形状和下一次命中位置上。

存档字幕（转写方式未注明） ↗ · 引文按字幕原文展示，可点时间戳回看片段。

补充字幕原文 2

reshape the tin droplet from a sphere into a concave sheet.

the concave sheet tilts in the wrong direction and messes up the second shot.

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